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我國成功研制3英寸碳化硅單晶

關(guān)鍵詞 碳化硅,碳化硅單晶|2007-05-08 00:00:00|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 一塊月餅樣大小,硬度僅次于金剛石的灰色的晶體塊,這就是晶體材料國家重點實驗室剛剛出爐的3英寸碳化硅單晶。該實驗室宣布,這是我國在研制2英寸碳化硅單晶獲得成功以來,在大直徑碳化硅單晶...
一塊月餅樣大小,硬度僅次于金剛石的灰色的晶體塊,這就是晶體材料國家重點實驗室剛剛出爐的3英寸碳化硅單晶。該實驗室宣布,這是我國在研制2英寸碳化硅單晶獲得成功以來,在大直徑碳化硅單晶研究方面取得的又一突破性進展。
  
  我國在“十五”期間獲得2英寸碳化硅單晶,但更大直徑的生長技術(shù)進展緩慢。在國家 “863”計劃支持下,山東大學晶體材料國家重點實驗室依靠2英寸碳化硅單晶小批量產(chǎn)業(yè)化基礎(chǔ),首先利用理論計算,對大直徑單晶的溫場進行模擬,不斷試驗優(yōu)化設(shè)計,最終在2000℃高溫和真空的環(huán)境下,成功生長出3英寸碳化硅單晶。
  
  自然界的晶體以絢爛的色彩贏得人們的喜愛,不僅如此,還具有奇異的物理性能:能夠?qū)崿F(xiàn)光、電、磁、熱、聲和力的相互作用和轉(zhuǎn)換,是電子器件、半導(dǎo)體器件、固體激光器件的重要材料。據(jù)了解,從19世紀末開始,人們用各種方法來探索如何生長晶體,碳化硅單晶就是人工晶體科學中熠熠生輝的一顆明珠。它被稱為第三代半導(dǎo)體材料,目前美國的碳化硅單晶直徑達到4英寸,處于國際領(lǐng)先地位。
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