2011年5月26日加利福尼亞州圣何塞和澳大利亞布里斯班消息電/明通新聞專線/--SPP Process Technology Systems(PTS)和澳大利亞格里菲斯大學(xué)簽署聯(lián)合開發(fā)協(xié)議，共同開發(fā)硅上碳化硅技術(shù)。

為期三年的合作協(xié)議旨在商業(yè)化硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術(shù)，為L(zhǎng)ED、功率器件和MEMS器件增添可行的半導(dǎo)體材料。

面向半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)提供等離子刻蝕、沉積和熱處理設(shè)備的領(lǐng)先制造商SPP Process Technology Systems (SPTS) 與澳大利亞格里菲斯大學(xué)今天宣布簽署了一項(xiàng)致力于硅上碳化硅(SiC-On-Si)技術(shù)商業(yè)化的聯(lián)合開發(fā)協(xié)議(JDA)。硅上碳化硅襯底在迅速發(fā)展的發(fā)光二極管(LED)、微電機(jī)系統(tǒng)(MEMS)和功率器件市場(chǎng)有廣泛的用途。

碳化硅是生長(zhǎng)制造LED所用的GaN薄膜的重要襯底。碳化硅具有更好的抗輻射能力、機(jī)械強(qiáng)度和熱特性，因此也成為MEMS器件所使用的硅的替代材料，使之更適合惡劣環(huán)境。此外，碳化硅還被用于生產(chǎn)針對(duì)大功率、高頻率應(yīng)用的半導(dǎo)體器件，在這方面碳化硅的電特性顯著優(yōu)于普通硅。格里菲斯大學(xué)昆士蘭微米和納米技術(shù)中心(QMNC)下屬的昆士蘭微技術(shù)研究所(QMF)開發(fā)的新技術(shù)已經(jīng)證明能夠直接在低成本硅晶圓上生長(zhǎng)結(jié)晶碳化硅。通過這項(xiàng)聯(lián)合開發(fā)協(xié)議，SPTS將負(fù)責(zé)為這項(xiàng)技術(shù)的商業(yè)化開發(fā)熱處理和設(shè)備技術(shù)。

硅上碳化硅器件所需的三項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)是：碳化硅淀積、蝕刻和氧化。QMNC在所有這些領(lǐng)域進(jìn)行了面向商業(yè)化的研究。QMNC的運(yùn)營(yíng)總監(jiān)Alan Iacopi表示：“聯(lián)合開發(fā)協(xié)議有助于把碳化硅淀積工藝技術(shù)轉(zhuǎn)化為器件研究和開發(fā)活動(dòng)，并通過對(duì)最大300毫米直徑硅晶圓的成批加工為批量生產(chǎn)提供途徑。SPTS在熱處理上的實(shí)力使他們成為有吸引力的合作伙伴。” QMNC項(xiàng)目負(fù)責(zé)人、副主任Sima Dimitrijev同意這個(gè)觀點(diǎn)，他表示：“聯(lián)合開發(fā)協(xié)議是我們碳化硅研究成果商業(yè)化的重要一步，特別是與SPTS這樣有著全球影響力的合作伙伴合作。”

SPTS總裁兼首席執(zhí)行官William Johnson表示：“作為向MEMS、LED和功率器件市場(chǎng)提供固定設(shè)備的市場(chǎng)領(lǐng)先者，SPTS始終關(guān)注前沿開發(fā)機(jī)會(huì)。我們很高興有機(jī)會(huì)與格里菲斯大學(xué)的優(yōu)秀研究人員合作，商業(yè)化硅上碳化硅技術(shù)。為這一合作提供生產(chǎn)技術(shù)，幫助開發(fā)和提供新材料加工技術(shù)，這是我們的一個(gè)重要的企業(yè)發(fā)展戰(zhàn)略。聯(lián)合開發(fā)協(xié)議將進(jìn)一步增強(qiáng)我們所服務(wù)市場(chǎng)的產(chǎn)品組合，將有助于擴(kuò)大我們的客戶群。”

關(guān)于SPP Process Technology Systems

SPP Process Technology Systems 成立于2009年10月，是由Surface Technology Systems和收購的Aviza Technology資產(chǎn)合并而成。公司是Sumitomo Precision Products Co., Ltd.的全資子公司，面向全球半導(dǎo)體行業(yè)和相關(guān)市場(chǎng)設(shè)計(jì)、制造、銷售和支持高級(jí)半導(dǎo)體資本設(shè)備和工藝技術(shù)。這些產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于各類細(xì)分市場(chǎng)，包括研發(fā)、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)、MEMS與納米技術(shù)、先進(jìn)3D封裝、LED及通信電源集成電路。

關(guān)于QMNC 和QMF

昆士蘭微米和納米技術(shù)中心(The Queensland Micro- and Nanotechnology Centre)是格里菲斯大學(xué)的一個(gè)科學(xué)工程研究中心，重點(diǎn)研究開發(fā)智能凈化系統(tǒng)所必須解決的微米和納米技術(shù)問題。中心擁有材料開發(fā)、傳感、微電子工程與微米技術(shù)以及凝聚態(tài)基本理論專業(yè)人才，涉及物理、化學(xué)、應(yīng)用數(shù)學(xué)和工程等學(xué)科。昆士蘭微米技術(shù)研究所(The Queensland Microtechnology Facility)隸屬于QMNC，致力于實(shí)現(xiàn)硅上碳化硅技術(shù)的商業(yè)化。它是昆士蘭州政府和澳大利亞國家制造研究所(National Fabrication Facility)出資建立的，擁有大型硅晶圓加工處理能力，支持用于機(jī)械和半導(dǎo)體器件的硅上碳化硅材料的開發(fā)。