近期，山東省光電子產(chǎn)業(yè)取得突破性進(jìn)展，山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室碳化硅單晶爐研制成功，制約山東光電子發(fā)展的主要瓶頸已被打破。
　　
　　山東大學(xué)晶體材料國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室繼碳化硅生長(zhǎng)加工技術(shù)和器件應(yīng)用取得突破之后，在消化吸收國(guó)外單晶爐的基礎(chǔ)上，綜合多年單晶生長(zhǎng)和半導(dǎo)體薄膜外延的經(jīng)驗(yàn)，集成創(chuàng)新，成功地研制出2英寸碳化硅單晶爐，并生長(zhǎng)出了2英寸碳化硅單晶。
　　
　　碳化硅單晶產(chǎn)業(yè)化最后的一個(gè)難關(guān)被成功攻破，實(shí)現(xiàn)了從單晶生長(zhǎng)爐制造、單晶生長(zhǎng)、襯底加工和應(yīng)用的全部國(guó)產(chǎn)化。單晶爐的研發(fā)成功為我們走有山東特色的半導(dǎo)體照明奠定了堅(jiān)實(shí)的基礎(chǔ)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，打破了國(guó)外壟斷。