摘要 由青海大學和青海省方盛磨料磨具公司共同承擔的《半導體制造用高純超細碳化硅粉末產品開發》高新技術產業化項目最近通過驗收。這一項目采用碳化硅單結晶加工物做為粉碎介質、應用水流粉碎機、粉...
由青海大學和青海省方盛磨料磨具公司共同承擔的《半導體制造用高純超細碳化硅粉末產品開發》高新技術產業化項目最近通過驗收。這一項目采用碳化硅單結晶加工物做為粉碎介質、應用水流粉碎機、粉碎工程內分級和酸堿洗凈技術,開發出了純度高、雜質含量低的超細碳化硅微粒,并打入了國際市場。目前,這種產品已試生產了60噸,新增利潤72萬元。
驗收評審中,專家委員會認為這個項目中的工藝路線具有創新性,研究總體水平達到了國內領先水平,項目開發出的產品附加值高,成本低,具有顯著的經濟效益、社會效益和廣闊的應用前景。