申請(qǐng)?zhí)? 201410750011.1
       申請(qǐng)日: 2014.12.10
       國(guó)家/省市: 中國(guó)江蘇(32)
       公開(kāi)號(hào): 104551900A
       公開(kāi)日: 2015.04.29
       主分類(lèi)號(hào): B24B 7/22(2006.01)
       分類(lèi)號(hào): B24B 7/22(2006.01); B24B 37/10(2012.01); B24B 29/02(2006.01); B24B 47/12(2006.01); C09G 1/02(2006.01)
       申請(qǐng)人: 鹽城工學(xué)院
       發(fā)明人: 周海
       代理人: 楊海軍
       代理機(jī)構(gòu): 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司(32200)
       申請(qǐng)人地址: 江蘇省鹽城市希望大道9號(hào)

       摘要： 本發(fā)明公開(kāi)了一種碳化硅晶片斜面磨削、研磨和拋光機(jī)及其操作方法，它包括依次連接的支撐片（1）、旋轉(zhuǎn)軸（2）、驅(qū)動(dòng)電機(jī)（3）、電機(jī)支架（4）、垂直轉(zhuǎn)臂（5）、水平轉(zhuǎn)臂（6）、滑架（7）、螺桿（9）相連，螺桿（9）的下端依次連接有第一圓錐齒輪（12）、第二圓錐齒輪（13）、調(diào)節(jié)軸（14）和轉(zhuǎn)輪（15），支撐片（1）的下方安裝有碳化硅晶片的處理工具（19）。本發(fā)明結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)合理，操作方便，工作效率高，可對(duì)碳化硅晶片進(jìn)行斜面磨削、研磨和拋光一體化處理，工作效率高，能夠使拋光斜面的粗糙度＜0.1微米，加工精度高，適用性強(qiáng)。本發(fā)明處理方法，可用于平面圓形和非圓形碳化硅晶片的斜面磨削、研磨和拋光一體化加工處理。

       主權(quán)利要求 1.一種碳化硅晶片斜面磨削、研磨和拋光機(jī)，其特征在于：它包括支撐片（1）、與支撐片（1）相連的旋轉(zhuǎn)軸（2），與旋轉(zhuǎn)軸（2）相連的驅(qū)動(dòng)電機(jī)（3），所述的驅(qū)動(dòng)電機(jī)（3）安裝在電機(jī)支架（4）上，電機(jī)支架（4）安裝在垂直轉(zhuǎn)臂（5）上，所述的垂直轉(zhuǎn)臂（5）與水平轉(zhuǎn)臂（6）相連，水平轉(zhuǎn)臂（6）與滑架（7）相連，滑架（7）通過(guò)內(nèi)襯套（8）套在螺桿（9）上，螺桿（9）的外周設(shè)有襯套筒（10），襯套筒（10）固定在立柱（11）上，螺桿（9）的下端與第一圓錐齒輪（12）相連，第一圓錐齒輪（12）與第二圓錐齒輪（13）相連，所述的第二圓錐齒輪（13）與調(diào)節(jié)軸（14）相連，調(diào)節(jié)軸（14）另一端與轉(zhuǎn)輪（15）相連，所述的調(diào)節(jié)軸（14）外設(shè)有調(diào)節(jié)軸套筒（16），調(diào)節(jié)軸（14）和調(diào)節(jié)軸套筒（16）之間設(shè)有滾動(dòng)軸承；所述的立柱（11）固定在上支撐座（17）上，上支撐座（17）焊接在下支撐座（18）上；所述的支撐片（1）的下方安裝有碳化硅晶片的處理工具（19），處理工具（19）連接在軸（20）的上端，軸（20）的下端連接在電機(jī)（21）上，所述的處理工具（19）為砂輪、研磨盤(pán)或者拋光盤(pán)。