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IBM開發(fā)出首款基于SiC晶圓的石墨烯集成電路

關(guān)鍵詞 碳化硅 , 石墨烯|2011-06-13 16:19:41|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 IBM研究中心公開了首款通過晶圓尺寸石墨烯制造出的集成電路,并展示了頻率高達10GHz的寬帶混頻器。這款模擬集成電路有一個石墨烯晶體管和一對整合在碳化硅晶圓上的電感器構(gòu)成,以無線通...

  IBM研究中心公開了首款通過晶圓尺寸石墨烯制造出的集成電路,并展示了頻率高達10GHz的寬帶混頻器。
  這款模擬集成電路有一個石墨烯晶體管和一對整合在碳化硅晶圓上的電感器構(gòu)成,以無線通信應(yīng)用為目標(biāo)。
  該集成電路像寬帶混頻器一樣工作,混合(和或差)輸入信號后產(chǎn)生輸出信號?;祛l器是很多電子通信系統(tǒng)的基礎(chǔ)元器件。研究人員表示該石墨烯集成電路混頻最多可以達到10GHz并且熱穩(wěn)定性非常好,可以承受125攝氏度的高溫。
  IBM研究團隊表示碳化硅晶圓所取得的進展實現(xiàn)了晶圓尺寸的石墨烯生產(chǎn)流程,克服了設(shè)計限制,在保持石墨烯質(zhì)量的同時能夠?qū)⑺鼈兗蛇M復(fù)雜的電路。
  “很多納米技術(shù)突破集中在解決傳統(tǒng)硅處理器的短期缺陷上,而這次創(chuàng)新的研究對于克服設(shè)計障礙來說是一次里程碑。它通過新材料帶來硅半導(dǎo)體所無法提供的獨特功能”,IBM研究中心的一位研究人員如此說道。
  研究人員通過對碳化硅晶圓進行熱退火在碳化硅表面形成均勻的石墨烯層,以此合成石墨烯。石墨烯電路的生產(chǎn)需要通過四層金屬和兩層氧化物組成頂柵結(jié)構(gòu)的石墨烯晶體管、片上電感器和互連。
  IBM研究中心開發(fā)的這種生產(chǎn)方案也可以用于其它類型的石墨烯材料,包括將化學(xué)氣相淀積(CVD)石墨烯膜合成在金屬膜之上、也可用于光學(xué)光刻以改善成本和產(chǎn)能。
  該研究組此前曾展示過獨立的石墨烯晶體管,外延石墨烯和化學(xué)氣相沉積石墨烯的截止頻率分別高達100GHz和155GHz,特征尺寸(柵極長度)分別為240nm和40nm。
  新石墨烯集成電路的突破正值IBM開始科學(xué)探索的100周年,這是IBM的一個主要里程碑也是DARPA贊助的碳電子射頻應(yīng)用(CERA)項目的一次突破。
  
    
  來源:電子工程專輯
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