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納米金剛石拋光液:SiC超精拋光的“白月光”

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SiC作為襯底材料,單晶SiC的表面粗糙度直接影響其在電子器元件中工作的效果與性能。為確保單晶SiC在半導體、襯底材料中的應用的穩定性,其表面粗糙度往往要達到納米級或以...

日期 2024-06-27   
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