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砂漿、電鍍金剛線、樹脂金剛線硅片切割對比

關(guān)鍵詞 砂漿 , 電鍍金剛線 , 樹脂金剛線 , 硅片切割|2013-07-25 10:10:37|基礎(chǔ)知識|來源 中國磨料磨具網(wǎng)
摘要 1.三種切割方式表面特征對比特點砂漿切割
       1.三種切割方式表面特征對比

特點

砂漿切割

電鍍金剛線切割

樹脂金剛線切割

切割方式

研磨

刻削

刻削

硅片表面特征

線痕

絲痕

絲痕

破壞深度um

5-15

5-10

4-7

每次加工硅片數(shù)量

1400-4600

1400-1800

1400-1800

切口消耗     um

（120-150）±24

160-210

126

硅片最小厚度

160

120

120

ttv

24

8

8

 

 2.砂漿和樹脂金剛線切割硅片出片率對比

項目

晶棒長度

硅片厚度

切割間距

預(yù)想成品率

出片率

比較

砂漿切割

450mm

180um

330um

90%

1227

——

樹脂金剛線

450mm

180um

310um

92%

1335

8.8%up

 

備注：1.砂漿切割 w=120um，sic切割損耗=30um，合計150um

2.金剛線切割，w=100um，D=10-20um，合計130um


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